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 产品中心 PRODUCT |
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| 洁净保管柜 | 
| 项目 |
基本参数 |
| 设备名称 |
洁净保管柜 |
| 设备用途 |
主要用于硅晶片/棒、蓝宝石衬件等无尘存放； |
| 操作模式 |
Class百级环境+压力组件或高纯氮环境设计； |
| 设备构成 |
设备由气路系统、洁净系统、防腐塑料及氟材料、压力件等构成； |
| 设备参数 |
◎ 全面防腐管理措施，苛刻的焊道工艺保证了设备的密封性和安全性；
◎ class百级洁净环境，保证存放环境无污染；
◎ 高纯管路输送系统及耐腐材料、压力表件；
◎ 适合存放石英、石墨、晶棒芯片等工件产品；
◎ 根据客户定制需求不同，定制方案； |
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