旋涂仪工作原理

1.静态滴胶

2.旋转铺开

3.甩掉多余的胶

4.溶剂挥发

涂胶过程

匀胶后在衬底边缘处会形成较厚的边（边珠效 应，这会影响到光刻的图形精度）。

可在涂胶 过程中加入去边及背喷工艺（ PGMEA、 EGMEA 为常用去边液）。

去边过程