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蓝宝石衬底清洗工艺

清洗的设备仪器

主要以湿法清洗为主,以下是与湿法清洗相关的设备仪器。
[1] 有机溶剂清洗机
【用途】循环去离子(DI)水,对蓝宝石进行冲洗;形成局部通风区域,对清洗过程产生的有毒腐蚀性气体进行及时排除。
【操作流程】流程操作相对简单,在此不再强调。
【注意事项】
(1)在清洗机内作业时,打开机器的通风设备,关闭外窗门,以防止有机溶剂气体扩散到清洗间,污染样品,损害操作人员健康;
(2)保持清洗机内的清洁卫生,不摆放除超声设备、烧杯、花篮以外的其他
[2] 超声波/兆声波设备
【用途】超声波清洗是利用超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。
(1)空化作用:空化作用就是超声波以每秒两万次以上的压缩力和减压力交互性的高频变换方式向液体进行透射。在减压力作用时,液体中产生真空核群泡的现象,在压缩力作用时,真空核群泡受 压力压碎时产生强大的冲击力,由此剥离被清洗物表面的污垢,从而达到精密洗净目的。
(2)直进流作用:超声波在液体中沿声的传播方向产生流动的现象称为直进流。声波强度在0.5W/cm2时,肉眼能看到直进流,垂直于振动面产生流动,流速约为10cm/s。通过此直进流使被清洗物表 面的微油污垢被搅拌,污垢表面的清洗液也产生对流,溶解污物的溶解液与新液混合,使溶解速度加快,对污物的搬运起着很大的作用。
(3)加速度:液体粒子推动产生的加速度。对于频率较高的超声波清洗机,空化作用就很不显著了,这时的清洗主要靠液体粒子超声作用下的加速度撞击粒子对污物进行超精密清洗。
【超声频率】通常选择从20kHz到30kHz范围内的清洗频率
【清洗温度】一般来说,超声波在50℃-85℃时,效果。

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